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SS-60系列掃描電子顯微鏡

SS-60系列臺(tái)式掃描電鏡具有體型小巧,占用空間小;
放大倍率30 ~60,000 X,15nm分辨率;
采用二次電子和背散電子雙重探測(cè)器;
SS-60掃描電鏡具有強(qiáng)大軟件功能,操作簡(jiǎn)單,易于維護(hù);
國(guó)產(chǎn)掃描電鏡,良好售后服務(wù)系統(tǒng)。

產(chǎn)品咨詢:0755-23347785

產(chǎn)品咨詢

20191008113448

產(chǎn)品說明:

 

(1)放大倍率6萬倍(Magnification Max 60,000 X);

(2)采用二次電子和背散射電子雙重探測(cè)器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector);

(3)5kV~30kV加速電壓選擇,圖像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High image resolution);

(4)通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis);

(5)Tilt(0~90)載物臺(tái)配置(可選擇)(Tilt Stage configuration( optional))。

 

 

產(chǎn)品特性:

(1)臺(tái)式掃描電子顯微鏡,體型小巧,占用空間小;

(2)強(qiáng)大的軟件功能,單窗口操作界面,讓用戶操作方便簡(jiǎn)單;

(3)軟件實(shí)現(xiàn)檢測(cè)圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ);

(4)掃描電子顯微鏡產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,易于維護(hù)及保養(yǎng);

(5)自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式,迅速定位待測(cè)樣品。

 

 技術(shù)參數(shù):

 

分辨率 

15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率

30~60,000 X

加速電壓

5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)

圖像檢測(cè)

二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SE+BSE)

觀察模式

Standard Mode

Charge-up reduction mode

電子槍系統(tǒng)

燈絲類型

預(yù)對(duì)中鎢燈絲

偏壓系統(tǒng)

自動(dòng)偏壓方式

電子槍校正

手動(dòng)方式

透鏡構(gòu)成

聚光鏡

2段式磁線圈透鏡

物鏡

1段式磁線圈透鏡

探測(cè)器類型

SE Detector/ BSE Detector

載物臺(tái)系統(tǒng)

 自動(dòng)或者手動(dòng)

載物臺(tái)移動(dòng)

3軸(X,Y,R)或5軸(X,Y,R,Z,T)

圖像偏移

Image shift X, Y Image Shift (±150μm)

樣品尺寸

高度40mm時(shí)直徑70mm

圖像掃描

快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自動(dòng)功能

自動(dòng)啟動(dòng),自動(dòng)聚焦,自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)

圖像存儲(chǔ)格式

BMP, JPEG, PNG,TIFF

數(shù)據(jù)顯示

放大倍率,探測(cè)器類型,電壓,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等

真空系統(tǒng)

 高真空模式

(旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵)Rotary Pump/100Liters/min

(渦輪式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空時(shí)間:3分鐘以內(nèi)

操控系統(tǒng)

 鼠標(biāo)和鍵盤

PC:臺(tái)式電腦(Desk Top)      

軟件

 圖像文件打開,編輯,存儲(chǔ)功能長(zhǎng)度,面積,角度等測(cè)量功能,設(shè)置數(shù)初始化,圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換,Archives, Setting(EDS)模式等

體積

設(shè)備主機(jī)-410(W)×660(D)×600(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm 

重量

 95kg

設(shè)備環(huán)境 

 溫度:15℃~30℃
   濕度:70% or less

  電源:Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz

 

 產(chǎn)品手冊(cè)下載

 

 

 

產(chǎn)品描述

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